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自动真空机组

● 由罗茨泵与前级泵构成 ● 真空速率28L/S或以上 ● 三菱触摸屏、PLC控制单元 ● INFICON或LEYBOLD真空传感器 ● 触摸屏上实时显示当前真空度 ● 真空泵自动启停及过载保护器 ● 与工件连接时自动启动计时,在设定时间内自动判断真空度是否合格 ● 预留通信接口,与线体进行数据对接

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